S.Adachi ほか4名: "System identification and physical parameter estimation of anti-vibration units in semiconductor exposure apparatus"IFAC SYSID'01. (2000)
S.Adachi ほか4名: "System identification and physical parameter estimation of anti-vibration units in semiconductor exposure apparatus"IFAC SYSID'01. (2000)
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S.Adachi 等 4 人：“半导体曝光设备中抗振单元的系统识别和物理参数估计”IFAC SYSID01 (2000)。
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