川原昭彦: "半導体ガスセンサ基板の多孔質化"Chemical Sensors. 16巻 B号. 118-120 (2000)
川原昭彦: "半導体ガスセンサ基板の多孔質化"Chemical Sensors. 16巻 B号. 118-120 (2000)
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Akihiko Kawahara:“多孔半导体气体传感器基板的制作”,《化学传感器》,第 16 卷,第 B.118-120 期(2000 年)。
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