M.Kawata,S.Nadahara,J.Shiozawa,M.Watanabe,T.Katoda: "Characterization of Stress in Doped and Undoped Polycrystalline Silicon before and after Annealing or Oxidation with Laser Raman Spectroscopy" Journal of Electronic Materials. 19. 407-411 (1990)
M.Kawata,S.Nadahara,J.Shiozawa,M.Watanabe,T.Katoda: "Characterization of Stress in Doped and Undoped Polycrystalline Silicon before and after Annealing or Oxidation with Laser Raman Spectroscopy" Journal of Electronic Materials. 19. 407-411 (1990)
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M.Kawata、S.Nadahara、J.Shiozawa、M.Watanabe、T.Katoda：“用激光拉曼光谱表征退火或氧化前后掺杂和未掺杂多晶硅的应力”电子材料杂志。
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