多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開
多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開
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多层反射镜EUV衍射极限成像系统的现状与发展
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
豊田光紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kaneko;Y. Hokari;S. Sasaki;M. Kanzaki;and T. Sato;豊田光紀
