T.Fujita et.al.: "Design of two-dimensional micromachined gyroscope by using nichel electroplating" Sensors and Actuators. A66. 173-177 (1998)
T.Fujita et.al.: "Design of two-dimensional micromachined gyroscope by using nichel electroplating" Sensors and Actuators. A66. 173-177 (1998)
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T.Fujita 等人：“使用镍电镀设计二维微机械陀螺仪”传感器和执行器。
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