MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイ
MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイ
复制标题
采用MEMS技术的ECF微电机阵列
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
枝村一弥
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
金俊完;西田吉人;横田眞一;吉田和弘;枝村一弥
