Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films
Relations among spatial profiles of plasma parameters, growth of nanoparticles in reactive plasma and properties of fabricated thin films
复制标题
等离子体参数的空间分布、反应等离子体中纳米颗粒的生长以及制备的薄膜的性能之间的关系
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kunihiro Kamataki;Tomoaki Yoshida;Yusuke Sasaki;Kohei Abe; Daisuke Yamashita;Naho Itagaki;Kazunori Koga;and Masaharu Shiratani
