Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal
Theoretical analysis and design of longitudinal leaky SAW device consisting of ScAlN film / piezoelectric single crystal
复制标题
ScAlN薄膜/压电单晶纵向漏声声表面波器件的理论分析与设计
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kakio Shoji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Suzuki Masashi;Kakio Shoji
