触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-
触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-
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催化CVD (Cat-CVD)的新进展 - 使用自由基的新工艺技术 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梅本宏信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
梅本宏信;森寺真司;梅本宏信;梅本宏信;梅本宏信;梅本宏信
