Nitrdation of Si(111) for growth of 2H-AlN(0001)/β-Si3N4/Si(111)structure
Nitrdation of Si(111) for growth of 2H-AlN(0001)/β-Si3N4/Si(111)structure
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Si(111) 氮化生长 2H-AlN(0001)/β-Si3N4/Si(111) 结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Yamabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.G.Shi;Y.F.Guo;S.Yu;M.Arai;A.A.Belik;A.Sato;K.Yamaura;E.Takayama-Muromachi;T.Varga;J.F.Mitchell;原口和敏;N.Yamabe
