白谷 正治: "シランプラズマを用いたアモルファスシリコンのダストレス成膜" 電気学会プラズマ研究会資料. EPー91ー1. 1-9 (1991)
白谷 正治: "シランプラズマを用いたアモルファスシリコンのダストレス成膜" 電気学会プラズマ研究会資料. EPー91ー1. 1-9 (1991)
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Masaharu Shiratani：“使用硅烷等离子体的无尘沉积非晶硅”IEEJ 等离子体研究组材料。 EP-91-1 (1991)。
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