Reactive Force-field Molecular Dynamics and DFT Simulations for the Thin Film Growth by CVD and ALD Techniques
Reactive Force-field Molecular Dynamics and DFT Simulations for the Thin Film Growth by CVD and ALD Techniques
复制标题
CVD 和 ALD 技术薄膜生长的反应力场分子动力学和 DFT 模拟
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaru Zaitsu4 and Shigeo Yasuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takashi Tokumasu;Naoya;Uene;Takuya Mabuchi1,3;Masaru Zaitsu4 and Shigeo Yasuhara
