田中 英治: "マイクロマシニング技術とPower MEMS"日本機械学会第10回スペース・エンジニアリング・コンファレンス講演論文集. 19-24 (2002)
田中 英治: "マイクロマシニング技術とPower MEMS"日本機械学会第10回スペース・エンジニアリング・コンファレンス講演論文集. 19-24 (2002)
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Eiji Tanaka：“微机械加工技术和功率 MEMS”日本机械工程师学会第十届空间工程会议论文集 19-24 (2002)。
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