RF マグネトロンスパッタ法によるMg_2Si 薄膜の作製と電気的特性
RF マグネトロンスパッタ法によるMg_2Si 薄膜の作製と電気的特性
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射频磁控溅射法制备Mg_2Si薄膜及其电学性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木戸博康
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷淳一;木戸博康
