インデンテーションによる多層薄膜の圧痕周囲のTEM断面組織観察
インデンテーションによる多層薄膜の圧痕周囲のTEM断面組織観察
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通过压痕法观察多层薄膜压痕周围的TEM截面结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村石信二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Shibasaki;T.Nakano;I.Terasaki;K.Yubuta;T.Kajitani;村石信二
