真空アーク蒸着法による均質アモルファスカーボン膜の高速合成

真空アーク蒸着法による均質アモルファスカーボン膜の高速合成
复制标题

真空电弧蒸发法快速合成均质非晶碳薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
精密工学会誌 73, 4
影响因子:
--
通讯作者:
平田敦
平田敦
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
堀越睦美;平田敦

文献摘要

相似文献