Advanced Layer Transfer Technology of post-Si Materials for Heterogeneous Integration
Advanced Layer Transfer Technology of post-Si Materials for Heterogeneous Integration
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用于异质集成的后硅材料先进层转移技术
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and W. H. Chang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Maeda;T. Irisawa;H. Ishii;and W. H. Chang
