4H-SiC上への無極性面4HポリタイプAlN/AlGaN MQW構造の作製と特性評価
4H-SiC上への無極性面4HポリタイプAlN/AlGaN MQW構造の作製と特性評価
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4H-SiC 上非极性 4H 多型 AlN/AlGaN MQW 结构的制备和表征
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
堀田昌宏
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H.Yamaguchi;T.Hanawa;O.Yamamoto;Y.Matsuda;Y.Egami;T.Niimi;内田慎哉;堀田昌宏