SiN_x钝化256元InGaAs短波红外焦平面探测器
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DOI:
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发表时间:
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期刊:
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通讯作者:
陈新禹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
李雪;唐恒敬;吴小利;张可锋;龚海梅;王妮丽;陈新禹