超高速大面積電子ビーム露光装置を利用したXFEL用マルチ開口回折格子の作製と評価
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超高速大面积电子束曝光设备XFEL多孔衍射光栅的制作与评价
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村 隆志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古谷 登;竹尾 陽子;江川 悟;吉永 享太;櫻井 快;山口 豪太;大和田 成起;矢橋 牧名;木村 隆志
