M.Sakakibara: "Measurement of Si atom density in Rf silane plasma using UV absorption spectroscopy" J.Appl.Phys.(1991)
M.Sakakibara: "Measurement of Si atom density in Rf silane plasma using UV absorption spectroscopy" J.Appl.Phys.(1991)
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M.Sakakibara：“使用紫外吸收光谱测量 Rf 硅烷等离子体中的 Si 原子密度”J.Appl.Phys.(1991)
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