Fabrication of Y2O3 thin film by mist CVD
Fabrication of Y2O3 thin film by mist CVD
复制标题
雾气CVD法制备Y2O3薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kawaharamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Li Liu;M. Nishi;E.K.C. Pradeep;G.T. Dang;Y. Suwa;T. Kawaharamura
