Impacts of AlGe0 Formation by Post Thermal Oxidation of Al_2O_3/Ge Structure on Interfacial Pronerties

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Al_2O_3/Ge结构后热氧化形成AlGe0对界面性质的影响

DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
Thin Solid Films
影响因子：
2.1
通讯作者：
et al
et al
中科院分区：
材料科学3区
文献类型：
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作者：
S. Shibayama;et al

文献摘要

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