Dry-type off-gas treatment technology of exhaust gases from the semiconductor industry for fluorine recycling
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半导体行业废气氟回收干式废气处理技术
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Iwasa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Yasui;S.Yamaji;T.Shojo;G.Inoue;K.Koike;A.Takeuchi;Y.Iwasa
