钒注入4H-SiC半绝缘特性的研究
钒注入4H-SiC半绝缘特性的研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张义门
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王超*;张玉明;张义门
