MEMS Sensor Devices with a Piezo-Resistive Cantilever
MEMS Sensor Devices with a Piezo-Resistive Cantilever
复制标题
具有压阻悬臂梁的 MEMS 传感器器件
DOI：
10.20965/ijat.2018.p0004
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发表时间：
2018
影响因子：
1.1
通讯作者：
Isao Shimoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kiyoshi Matsumoto; Isao Shimoyama
