Y.H.Song: "Ultra-Shallow Junction Formation by AsH_3 Absorption Method" Extended Abstracts of the 1997 International Conference on Solid State Devices and Materials. 552-553 (1997)
Y.H.Song: "Ultra-Shallow Junction Formation by AsH_3 Absorption Method" Extended Abstracts of the 1997 International Conference on Solid State Devices and Materials. 552-553 (1997)
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Y.H.Song：“AsH_3 吸收法形成超浅结”1997 年国际固态器件和材料会议的扩展摘要。
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