Examination of depth profile of molecular orientation in L&S pattern fabricated by nanoimprint-graphoepitaxy
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复制标题
L 中分子取向的深度剖面检查
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Shinji Matsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Makoto Okada;Ryosuke Fujii;Yuichi Haruyama;Hiroshi Ono;Nobuhiro Kawatsuki;and Shinji Matsui
