光励起を用いたSiC加工表面の非接触評価
光励起を用いたSiC加工表面の非接触評価
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使用光激励对 SiC 加工表面进行非接触式评估
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
江龍修
中科院分区:
文献类型:
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作者:
西尾和真;永利一幸;江龍修