Y.Ohki;T.Nakano: Proceedings of the 6th Symposium on Plasma Processing. 247-250 (1988)
Y.Ohki;T.Nakano: Proceedings of the 6th Symposium on Plasma Processing. 247-250 (1988)
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Y.Ohki；T.Nakano：第六届等离子体加工研讨会论文集。
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