K.Nishidate et al.: "A cellular-automata simulation program for a silicon anisotropic super-micro-etching process in aquious KOH" Computers in Physics. Vol.12, No.1. 88-93 (1998)
K.Nishidate et al.: "A cellular-automata simulation program for a silicon anisotropic super-micro-etching process in aquious KOH" Computers in Physics. Vol.12, No.1. 88-93 (1998)
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K.Nishidate 等人：“KOH 水溶液中硅各向异性超微蚀刻过程的元胞自动机模拟程序”计算机物理学。
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