Microcalorimeter energy‐dispersive spectrometry using a low voltage scanning electron microscope
Microcalorimeter energy‐dispersive spectrometry using a low voltage scanning electron microscope
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使用低压扫描电子显微镜的微量热仪能量色散光谱测定
DOI：
10.1046/j.1365-2818.2000.00705.x
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发表时间：
2000
影响因子：
2
通讯作者：
D. Newbury
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Wollman;S. Nam;G. Hilton;K. Irwin;N. Bergren;D. Rudman;J. Martinis;D. Newbury
我们描述了NIST开发的用于X射线微量分析的原型微量热能量色散谱仪（µcal EDS）的当前性能。我们表明，设计用于在0.2-2 keV能量范围内工作的低能µcal EDS为低束流能量显微分析提供了显着优势。 我们提供了几个实例，其中原型µcal EDS已用于解决低电压微量分析中的问题，包括硅化钨（WSi 2）、氮化钛（TiN）和钛酸钡（BaTiO 3）的分析以及Fe和C化合物的化学位移测量。
We describe the current performance of the prototype microcalorimeter energy‐dispersive spectrometer (µcal EDS) developed at NIST for X‐ray microanalysis. We show that the low‐energy µcal EDS, designed for operation in the energy range 0.2–2 keV, offers significant advantages for low‐beam‐energy microanalysis. We present several examples in which the prototype µcal EDS has been used to solve problems in low‐voltage microanalysis, including the analysis of tungsten silicide (WSi2), titanium nitride (TiN) and barium titanate (BaTiO3) and the measurement of chemical shifts in Fe and C compounds.