Fast homoepitaxial growth of (100) β-Ga2O3 thin films via MOVPE

Fast homoepitaxial growth of (100) β-Ga2O3 thin films via MOVPE
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通过 MOVPE 快速同质外延生长 (100) β-Ga2O3 薄膜

DOI：
--
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发表时间：
2021
期刊：
AIP Advances
影响因子：
1.6
通讯作者：
A. Popp
A. Popp
中科院分区：
材料科学4区
文献类型：
--
作者：
Ta;Palvan Seyidov;S. Bin Anooz;R. Grüneberg;Thi Thuy Vi Tran;K. Irmscher;M. Albrecht;Z. Galazka;J. Schwarzkopf;A. Popp

文献摘要

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