InGaN発光へのリモートプラズマ処理の影響
InGaN発光へのリモートプラズマ処理の影響
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远程等离子体处理对 InGaN 发射的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下善文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹中俊明;上浦洋一;石山武;山下善文
