Characterization of defects created in Cz and epitaxial Si doped with Ga or B using Laplace-DLTS

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使用 Laplace-DLTS 对 Cz 和掺杂 Ga 或 B 的外延 Si 中产生的缺陷进行表征

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
F. C. Farlow
F. C. Farlow
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
C. Nyamhere;P. Deenapanray;F. D. Auret;F. C. Farlow

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