Large Volume Plasma Production Using Helicon Wave
Large Volume Plasma Production Using Helicon Wave
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使用 Helicon Wave 进行大容量等离子体生产
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takao Tanikawa;et al.
