タングステンスパッタリング率の結晶方位依存性
タングステンスパッタリング率の結晶方位依存性
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钨溅射速率的晶体取向依赖性
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木雅也，Lee Heun Tae，上田良夫，伊庭野健造，松田直也，瀧田朋広，中林誠治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横尾 尚典;田部 亜季;中木戸 誠;長門石 曉;カアベイロ ホセ;吉田 瑶子;池田 洋一郎;南学 正臣;津本 浩平;五十嵐 龍治;鈴木雅也，Lee Heun Tae，上田良夫，伊庭野健造，松田直也，瀧田朋広，中林誠治
