MCFホールによるサファイアウエハの精密研磨 -MCFスラリーにおける寿命評価-
MCFホールによるサファイアウエハの精密研磨 -MCFスラリーにおける寿命評価-
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使用 MCF 孔对蓝宝石晶片进行精密抛光 - MCF 浆料中的寿命评估 -
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺隆文，野村光由，藤井達也，須藤謙，呉勇波
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeyuki Abe;Hiroyuki Sasahara;渡辺隆文，野村光由，藤井達也，須藤謙，呉勇波
