Influence of UV irradiation and RTA process on optical properties of Si implanted SiO2.
Influence of UV irradiation and RTA process on optical properties of Si implanted SiO2.
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UV 照射和 RTA 工艺对 Si 注入 SiO2 光学性能的影响。
DOI：
10.1016/j.nimb.2010.05.089
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D.E.Hole
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.S.Iwayama;T.Hama;D.E.Hole
