First-Principles Analysis of CARE Process of SiC
First-Principles Analysis of CARE Process of SiC
复制标题
SiC CARE 工艺的第一性原理分析
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Ohsone;J. Shimizu;L. Zhou;H. Ojima;T. Onuki;T. Yamamoto;H. Huang;M Oue;K. Inagaki;D. Hirose
