ウルトラファインバブルを活用した化学機械研磨プロセスの 反応分子動力学シミュレーション
ウルトラファインバブルを活用した化学機械研磨プロセスの 反応分子動力学シミュレーション
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超细气泡化学机械抛光过程的反应分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jin Jianchen;Iizuka Takashi;尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
