Study of porous silicon, silicon carbide and DLC coated field emitters for pressure sensor application
Study of porous silicon, silicon carbide and DLC coated field emitters for pressure sensor application
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用于压力传感器应用的多孔硅、碳化硅和 DLC 涂层场发射器的研究
DOI：
10.1016/s0038-1101(01)00148-4
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发表时间：
2001
影响因子：
1.7
通讯作者：
A. Correia
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Kleps;A. Angelescu;N. Samfirescu;A. Gil;A. Correia
