中圧水素プラズマを用いた高アスペクト比シリコンナノコーンの形成
中圧水素プラズマを用いた高アスペクト比シリコンナノコーンの形成
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使用中压氢等离子体形成高纵横比硅纳米锥
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大参 宏昌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野村 俊光;木元 健太;垣内 弘章;安武 潔;大参 宏昌
