塩化物系ガリウム希薄水溶液によるa型酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長
塩化物系ガリウム希薄水溶液によるa型酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長
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使用氯化镓稀水溶液雾气CVD生长a型氧化镓薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇野和行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松本一寿;中村 幸;田中 一郎;宇野和行
