マイクロ波加熱による非晶質シリコンの結晶化
マイクロ波加熱による非晶質シリコンの結晶化
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微波加热非晶硅结晶
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白木靖寛第
中科院分区：
文献类型：
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作者：
芦澤里樹;三井実;堀江忠司;有元圭介;山中淳二;中川清和;荒井哲司;高松利行;澤野憲太郎;白木靖寛第
