DESINGING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN SI THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES
DESINGING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN SI THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES
复制标题
低能量损耗光学 MEMS/NEMS 器件硅薄膜中晶界位置的设计
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Sasaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Tomikawa;J.-H. Jeong;S. Kumagai;I. Yamashita;Y. Uraoka;M. Sasaki
