Fabrication of flat silicon surfaces using ion-exchange particles in ultrapure water
Fabrication of flat silicon surfaces using ion-exchange particles in ultrapure water
复制标题
使用超纯水中的离子交换颗粒制造平坦的硅表面
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Ichii and H. Goto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Suzuki;H. Goto and K. Hirose;Y. Ichii and H. Goto
