レーザー干渉型新竹モニターを用いたナノメートル電子ビームサイズ測定

レーザー干渉型新竹モニターを用いたナノメートル電子ビームサイズ測定
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使用激光干涉式新竹显示器进行纳米电子束尺寸测量

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
ヤン ジャクリン
ヤン ジャクリン
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Jacqueline Yan;et al;ヤン ジャクリン;ヤン ジャクリン;ヤン ジャクリン;ヤン ジャクリン

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