大電力パルススパッタにおけるイオンの解析
大電力パルススパッタにおけるイオンの解析
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高功率脉冲溅射中的离子分析
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田貴之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yagyu Mitsuyoshi;Numata Ryusuke;R. Numata;太田貴之
