M.Watanabe: "Effect of vacancy-type defects on electrical activation of P^+ implantation into silicon" MRS Symp.Proc.438. 131-136 (1997)
M.Watanabe: "Effect of vacancy-type defects on electrical activation of P^+ implantation into silicon" MRS Symp.Proc.438. 131-136 (1997)
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M.Watanabe：“空位型缺陷对硅中 P 离子注入的电激活的影响”MRS Symp.Proc.438。
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